不朽qing缘mg

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    微纳光学元件

    时间:2023-06-10 种别:光学元器件 关注:5953

    一种在平整基底外貌上通过种种方式做制备出微米、纳米级尺度二维结构的光学元件

    不朽qing缘mg深入研究种种设计理论及要领,开发出多款专业光学设计软件,可提供全局最优设计方案。在多年实践基础上,积累多项手艺并形成稳固工艺: 可制备十六阶衍射器件、横向误差小于 1um,深度误差小于 1.5%,衍射效率高于 90%。可准确控制一连外貌微纳结构面形,面形误差小于 3%。生长了微、纳尺度压印及紫外光固化复制手艺,可以实现高保真、低成本、大批量微纳结构制作。现在,已形成以微透镜列阵、位相板、衍射器件为主的系列产物,在科研、军工、工业、医疗等领域乐成应用。

    不朽qing缘mg一站式供应种种类型的微透镜,相位板,衍射器件,DOE,分束器,结构光,多焦点,长焦深,多波长,整形器,可提供选型、手艺指导、安装培训、个性定制等全生命周期、全流程服务,接待联系不朽qing缘mg的产物司理!

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    手机: 18162698959(微信) 座机: 027-51858937
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    产物司理信息

    SLB系列微纳光学元件

    光束整形器 DOE

    DOE匀化器

    DOE匀化器是一种基于衍射光学原理设计的平板光学元件,由液晶聚合物(LCP)薄膜和两片N-BK7窗口片组成。凭证已知的入射光参数、透镜焦距以及预期出射光参数,通过点对点映射方式盘算获得设计相位,最后使用LCP薄膜引入设计好的几何相位漫衍实现对高斯(TEM00,M2<1.3)入射光的整形和匀化。DOE匀化器能够实现单模激光的方形、圆形、线形等恣意几何形状的非准直匀化效果。由于其具有高匀称度、高透过率、高损伤阈值、界线锐利等优点,在激光医美、激光加工、外貌处置赏罚等多种chang景中具有很大的应用远景,如激光焊接、激光打标、激光切割、皮肤美容和激光治疗等。能够带来更高的能量使用率、更好的加工质量、更高的加工精度、更无邪可控的加工尺度调治。除了尺度产物外,不朽qing缘mg还提供参数规格的无邪定制,如需紫外/高功率匀化DOE,请联系不朽qing缘mg。

    DOE匀化器

    方型DOE匀化器(左),圆型DOE匀化器(中)和一字线型DOE匀化器(右)

    DOE匀化器

    产物特点

    • 平板结构,体积。准

    • 透射型匀化,能量使用率高

    • 一连型相位,衍射效率高,匀化效果好

    • 定制无邪,匀化光斑尺寸可调

    • 适合高质量单模激光的非准直匀化

    尺度产物型号

    产物型号匀化类型事情波长/nm入射光斑直径/mm有用透镜焦/mm出射光斑尺寸/μm
    SLB-DOE25-532-6-FTS50方形平顶532610050x50
    SLB-DOE25-532-6-FTS200方形平顶5326100200x200
    SLB-DOE25-532-7-FTS30方形平顶532710030.3x30.3
    SLB-DOE25-532-7-FTS76方形平顶532710075.76x75.76
    SLB-DOE25-1064-6-FTS80方形平顶1064610080x80
    SLB-DOE25-1064-6-FTS200方形平顶10646100200x200
    SLB-DOE25-1064-7-FTS30方形平顶1064710030.3x30.3
    SLB-DOE25-1064-7-FTS76方形平顶1064710075.76x75.76
    SLB-DOE25-532-6-FTC50圆形平顶5326100?50
    SLB-DOE25-532-6-FTC200圆形平顶5326100?200
    SLB-DOE25-1064-6-FTC80圆形平顶10646100?80
    SLB-DOE25-1064-6-FTC200圆形平顶10646100?200
    SLB-DOE25-532-6-FTL250线形平顶5326100250
    SLB-DOE25-532-6-FTL1000线形平顶53261001000
    SLB-DOE25-1064-6-FTL250线形平顶10646100250
    SLB-DOE25-1064-6-FTL1000线形平顶106461001000

    性能参数

    产物类型尺度产物定制
    事情波长532 nm,1064 nm400-1700    nm
    元件尺寸及安装方式?25.4x3.2mm,单侧切边,兼容1英寸光学元件安装架
    入射光斑质量要求TEM00,M?<1.3
    入射光斑偏振态要求匀称偏振态
    入射光斑尺寸?6 mm, ?7 mm建议<通光孔径的一半
    通光孔径15×15 mm, ?15 mm
    出射光斑形状方形,圆形,线形恣意几何形状
    出射光斑尺寸>1.5 DL (衍射极限),随搭配聚焦透镜可调
    出射光斑不匀称性<5%<10%,最低可做到<5%
    传输区域宽度>0.5    DL (衍射极限)
    透过率>98%>85%@400-450    nm
     >96%@450-1700 nm
    反射率Ravg    <0.5% (0°入射角)
    衍射效率>95%定制
    • 出射光斑尺寸:光斑归一化能量漫衍的半高宽尺寸

    • 出射光斑不匀称性:光斑归一化能量漫衍90%以上区域的能量均方根误差

    • 传输区域宽度:边缘区域在归一化能量13.5%-90%区间内对应的宽度

    • 衍射效率:光斑归一化能量漫衍90%以上区域的能量占所有出射光能量之比

    性能曲线

    DOE匀化器性能曲线

    匀化DOE应用光路搭设示例

    匀化DOE应用光路搭设示例

    分束DOE

    分束DOE常由基于像素点的周期性相位设计或光栅级联两种方案的单独作用或团结使用,实现一维或二 维、奇数或偶数分束效果。不朽qing缘mg提供的分束DOE分为级联光栅分束器和液晶分束器,其中级联光栅分束器(Multilayer  Grating Beam Splitter,MLGS)接纳N-BK7玻璃基底和液晶聚合物(Liquid Crystal Polymers,LCP)质料制成,由三层1英寸双切边衬底涂敷具备光栅和波片结构的LCP层组成,为单波长器件。当入射光为线偏振光时,凭证各级光栅栅线的相对位置关系为平行或垂直,级联光栅分束器能够实现一维或二维的四分束功效,且获得的各束光为旋向差异的圆偏振光,其分束角与各级光栅周期相关。级联光栅具有较高的透过率,通过更优的相位设计和准确的延迟量控制,使其具有比典型达曼光栅分束器更高的分束效率和分束匀称性,且能保证较高的分束角精度。不朽qing缘mg的液晶分束(Liquid Crystal Beam Splitter,LCBS)DOE接纳N-BK7玻璃基底和液晶聚合物(Liquid Crystal Polymers,LCP)质料制成,泛起为典型的三明治平片结构,为单波长器件。液晶分束DOE的相位结构凭证预期的分束模式、分束光斑距离或光束疏散角度等需求,基于衍射光学原理举行设计,通过对响应衍射级ci的能量举行分配来实现预期分束效果。与级联光栅分束器相比,分束DOE对入射光偏振态无要求,且可实现奇数分束;与达曼光栅分束器相比,分束DOE衍射效聅hi胺质獍咴瘸菩愿牛挥氪晨淌碊OE相比,液晶分束DOE更易实现多阶数相位转变,从而到达更高的衍射效率,工艺难度也显着降低。因此,基于液晶分束DOE高衍射效率、高分束匀称性、高疏散角精度、低无效衍射级ci噪声影响、工艺简朴等优点,其可用于并行激光加工、光传感探测、光医疗美容等众多应用偏向中,以提升加工效率和一致性。

    级联光栅分束器和液晶分束器

    不朽qing缘mg提供的尺度分束DOE事情波长λ为532nm和1064nm,其中级联光栅分束器分束模式为1×4和2×2可。壕Х质鳧OE分束模式有1×3、1×9和2×3可。钟谐叨炔锿,另提供各项参数规格的无邪定制,以利便用户在差异应用chang景下的多样化需求。

    1×4、2×2级联光栅分束器中一级、二级光栅在线偏振光下形貌

    1×4、2×2级联光栅分束器中一级、二级光栅在线偏振光下形貌 (左)和1×3、1×9、2×3二维液晶分束DOE相位图(右)

    产物特点

    • 平板结构,体积。准

    • 透射式元件,能量使用率高

    • 一连型相位,衍射效率高,分束匀称性好

    • 定制无邪,分束角精度高,分束角可调

    • 适用于多种类型光源的分束

    尺度产物型号

    产物型号分束模式事情波长/nm通光孔径/mm分束角/°
    SLB-MLGS25-1402-5321x4532?202
    SLB-MLGS25-1404-10641x41064?204
    SLB-MLGS25-2202-5322x2532?202
    SLB-MLGS25-2204-10642x21064?204
    SLB-LCBS25-532-0109-0000151×3532?21.50.5
    SLB-LCBS25-532-0109-0000151x9532?21.50.15
    SLB-LCBS25-1064-0103-0001001×31064?21.51
    SLB-LCBS25-1064-0109-0000301x91064?21.50.3
    SLB-LCBS25-532-0203-0250152x3532?21.50.25×0.15
    SLB-LCBS25-1064-0203-0500302x31064?21.50.5×0.3

    性能参数

    产物类型尺度产物定制
    事情波长532 nm,1064 nm400-1700    nm
    元件尺寸及安装方式?25.4x2.7 mm,无切边/双侧切边 兼容1英寸光学元件安装架
    入射光斑质量要求
    入射光斑偏振态要求依据产物详细实现方案确定
    入射光斑尺寸<通光孔径的一半(建议)
    通光孔径?20 mm,?21.5 mm
    分束模式详见上表1xm,mxn
    分束匀称性> 90%>90%,最大可做到>97%
    分束角详见上表随搭配聚焦透镜可调
    透过率> 96%>85    %@400-450nm,
     >96    %@450-1700 nm
    反射率Ravg    <0.5% (0°入射角)
    衍射效率>97%
    • 分束匀称性:对于分束获得的各光斑能量,匀称性界说为(1-极差/极和)×100 %

    • 衍射效率:分束获得的有用级ci能量占所有出射光能量之比

    • 分束角:对于差异的分束方案有差异的界说

    性能曲线

    分束DOE性能曲线

    分束DOE应用光路搭设示例

    分束DOE应用光路搭设示例

    焦点整形DOE

    焦点整形DOE可调制z偏向上的光束能量漫衍,详细又分为长焦深整形和多焦点整形两种效果。常用于激光加工中的切割应用,以获得更平整的切切断面,更好的切割质量。不朽qing缘mg提供长焦深和多焦点两种焦点整形DOE,其中长焦深DOE为平板锥透镜(PB  Axicon,PBA),是基于N-BK7玻璃基底和液晶聚合物(Liquid Crystal Polymers,LCP)质料制成,泛起为“前后玻璃衬底,中心LCP功效膜层”的三明治结构。在LCP层中,液晶分子的快轴取向沿基片径向呈等周期渐变漫衍,其在整个器件平面上具有相同的λ/2延迟量,为单波长器件。平板锥透镜具有偏振相关的光学特征,凭证入射光束偏振态的差异,可用于实现光束环形会聚或发散;当入射光为左旋圆偏振光时,还可同时用于天生具有无衍射特征、自恢复特征的贝塞尔光束。相较于传统的锥透镜,不朽qing缘mg的平板锥透镜为平板结构,无立体锥尖,更易集成;同时其锥尖部门的结组成型依赖于液晶分子的取向转变,可以到达微米级的加工精度;另外还具备大色散的特点。

    多焦点(Multi Focal,MF)DOE也接纳N-BK7玻璃基底和液晶聚合物质料制成,由两层1 英寸玻璃衬底和单层带有设计相位的LCP层组成,为单波长器件。多焦点DOE是一种用于焦点整形的衍射光学元件,可实现入射光在轴向上聚焦为牢靠个数、相等间距、能量匀称的焦点,其使用光的衍射原理来设计相位,并通过光控取向使液晶聚合物薄膜形成设计好的相位结构,从而实现对入射光的相位调制,使光疏散在差异的衍射级ci,最后使用聚焦透镜使各个级ci聚焦从而形成多个焦点。因此,多焦点DOE一ban与物镜搭配使用,以利便实现一ban应用qing境下的多焦点需求。多焦点DOE主要应用于激光深度切割,如蚲ai鞑AА⒗侗κ鹊那懈,相比于传统激光切割,其可以使用轴向多个匀称排布的焦点对质料举行深度切割,从而到达较为理想的平整切面。

    焦点整形DOE

    不朽qing缘mg提供事情波长为532nm、633nm、1064nm,偏转角(半角)为0.5 °、1 °、2.0 °、2.3 °、4.7 °的1英寸尺度平板锥透镜, 提供事情波长为1064 nm,焦点个数为3 个和5 个的尺度多焦点DOE,除了尺度产物外不朽qing缘mg,同时支持参数规格的无邪定制,以利便用户在差异应用chang景下的多样化需求。 

    产物特点

    • 平板结构,体积。准

    • 透射式元件,能量使用率高

    • 衍射锥镜“锥尖”精度高,衍射效率高,焦深可选

    • 多焦点DOE定制无邪,焦点个数、间距和能量漫衍可调

    • 适合高质量单模激光

    尺度产物型号

    产物型号焦点整形类型事情波长/nm通光孔径/mm偏转角/°焦点个数焦点间距/μm
    SLB-PBA25-532-05长焦深532?200.5

    SLB-PBA25-532-10长焦深532?201

    SLB-PBA25-532-23长焦深532?202.3

    SLB-PBA25-532-47长焦深532?204.7

    SLB-PBA25-633-05长焦深633?200.5

    SLB-PBA25-633-10长焦深633?201

    SLB-PBA25-633-23长焦深633?202.3

    SLB-PBA25-633-47长焦深633?204.7

    SLB-PBA25-1064-05长焦深1064?200.5

    SLB-PBA25-1064-10长焦深1064?201

    SLB-PBA25-1064-23长焦深1064?202.3

    SLB-PBA25-1064-47长焦深1064?204.7

    SLB-LCMF25-1064-F5-3-15多焦点1064?7.5
    315
    SLB-LCMF25-1064-F4-3-4多焦点1064?5.5
    34
    SLB-LCMF25-1064-F5-5-15多焦点1064?7.5
    515
    SLB-LCMF25-1064-F4-5-24多焦点1064?5.5
    524

    性能参数

    产物类型标品-长焦深定制-长焦深标品-多焦点定制-多焦点
    事情波长532,633,1064nm400-1700nm1064nm400-1700nm
    元件尺寸及安装方式?25.4x3.2mm,兼容1英寸光学元件安装架3-160 mm(边长或直径规格)?25.4x3.2    mm,兼容1英寸光学元件安装架3-50.8 mm(边长或直径规格)
    入射光斑质量要求TEM00,M?<1.3圆偏振光(建议)
    入射光斑偏振态要求左旋圆偏振光
    入射光斑尺寸<通光孔径的一半(建议)
    通光孔径?20mm≤基片内接圆直径x90%?5.5mm, ?7.5mm≤10mm
    焦点个数

    3 mm,5 mm
    焦点间距

    4μm,15μm,24μm
    焦点能量漫衍

    等比例
    焦点能量匀称度

    >95%
    偏转角0.5°,1.0°,2.3°,4.7°0.2°-70°

    透过率>97%>85%@400-450nm
     >96%@450-1700nm
    >98%>85%@400-450nm
     >96%@450-1700nm
    反射率Ravg <0.5%(0°入射角)
    衍射效率

    >85%
    零级占比<4%

    • 偏转角:准直光束入射后获得的出射光束会聚或发散角的半角

    • 焦点能量匀称度:对于多焦点整形获得的各焦点能量,匀称性界说为(1-极差/极和)×100 %

    • 零级占比:长焦深整形获得的零级光斑能量占所有出射光能量之比

    性能曲线

    焦点整形DOE性能曲线

    焦点整形DOE应用光路搭设示例

    焦点整形DOE应用光路搭设示例

    环形整形DOE

    环形整形DOE基于其差异相位,可以实现差异类型的环形整形效果,如涡旋波片发生的涡旋光、衍射锥镜 发生的远chang环形光等。其中,涡旋光常用于光镊、超分辨显微、光刻等多种应用;远chang环形光则常用于原子陷俘、角  膜手术、激光钻孔等多种应用。

    涡旋波片(Vortex Retarder,VR)是基于N-BK7玻璃基底和液晶聚合物(Liquid Crystal Polymers,LCP)质料制成,泛起为“前后玻璃衬底+中心LCP功效膜层”的三明治结构,安装于尺度SM1透镜套筒中。在LCP层中,液晶分子的快轴取向沿基片径向一致,沿基片角向一连渐变。其在整个器件平面上具有相同的 λ/2延迟量,为单波长器件。涡旋波片具有偏振相关的光学特征,凭证入射光束偏振态的差异,可用于天生矢量偏振光束或具备螺旋相位波前的涡旋光束,可将TEM00模高斯光束转换为“空心孔型”的拉盖尔-高斯(Laguerre-Gaussian,LG)强度漫衍(以上光学特征详见手艺说明)。相较于传统的光chang调控方式,涡旋波片具有高效稳固、操作浅易、功效专一的优势;其真零级特点也资助实现了较低的波长敏感性、较高的温度稳固性和较大的入射角规模。

    平板锥透镜(PB Axicon,PBA),是基于N-BK7玻璃基底和液晶聚合物(Liquid Crystal Polymers,LCP)质料制成,泛起为“前后玻璃衬底,中心LCP功效膜层”的三明治结构。在LCP层中,液晶分子的快轴取向沿基片径向呈等周期渐变漫衍,其在整个器件平面上具有相同的λ/2延迟量,为单波长器件。平板锥透镜具有偏振相关的光学特征,凭证入射光束偏振态的差异,可用于实现光束环形会聚或发散;当入射光为左旋圆偏振光时,还可同时用于天生具有无衍射特征、自恢复特征的贝塞尔光束。相较于传统的锥透镜,不朽qing缘mg的平板锥透镜为平板结构,无立体锥尖,更易集成;同时其锥尖部门的结组成型依赖于液晶分子的取向转变,可以到达微米级的加工精度;另外还具备大色散的特点。

    环形整形DOE

    不朽qing缘mg提供的尺度涡旋波片事情波长在405~1550 nm 之间,阶数m为1~128,尺度1英寸平板锥透镜事情波长为532nm、633nm、1064nm,偏转角(半角)为0.5 °、1 °、2.0 °、2.3 °、4.7 °,除了尺度产物外不朽qing缘mg,同时支持参数规格的无邪定制,以利便用户在差异应用chang景下的多样化需求。

    产物特点

    • 平板结构,体积。准

    • 透射式元件,能量使用率高

    • 涡旋光chang调控历程操作浅易、转换效率高

    • 衍射锥镜“锥尖”精度高,衍射效率高,环宽及直径可调

    • 适合高质量单模激光

    尺度产物型号

    产物型号环形整形类型事情波长/nm通光孔径/mm偏转角/°阶数m
    SLB-VR1-532涡旋光chang532?21.5
    1
    SLB-VR1-633涡旋光chang633?21.5
    1
    SLB-VR1-1064涡旋光chang1064?21.5
    1
    SLB-VR2-532涡旋光chang532?21.5
    2
    SLB-VR2-633涡旋光chang633?21.5
    2
    SLB-VR2-1064涡旋光chang1064?21.5
    2
    SLB-VR4-532涡旋光chang532?21.5
    4
    SLB-VR8-532涡旋光chang532?21.5
    8
    SLB-VR16-532涡旋光chang532?21.5
    16
    SLB-VR32-532涡旋光chang532?21.5
    32
    SLB-VR64-532涡旋光chang532?21.5
    64
    SLB-VR128-532涡旋光chang532?21.5
    128
    SLB-PBA25-532-05远chang环形光chang532?200.5
    SLB-PBA25-532-10远chang环形光chang532?201
    SLB-PBA25-532-23远chang环形光chang532?202.3
    SLB-PBA25-532-47远chang环形光chang532?204.7
    SLB-PBA25-633-05远chang环形光chang633?200.5
    SLB-PBA25-633-10远chang环形光chang633?201
    SLB-PBA25-633-23远chang环形光chang633?202.3
    SLB-PBA25-633-47远chang环形光chang633?204.7
    SLB-PBA25-1064-05远chang环形光chang1064?200.5
    SLB-PBA25-1064-10远chang环形光chang1064?201
    SLB-PBA25-1064-23远chang环形光chang1064?202.3
    SLB-PBA25-1064-47远chang环形光chang1064?204.7

    性能参数

    产物类型标品-涡旋光chang定制-涡旋光chang标品-远chang环形光chang定制-远chang环形光chang
    事情波长405-1550nm400-1700nm532 ,633,1064nm400-1700nm
    元件尺寸及安装方式?25.4x3.2mm,安装于 SM1-8A机械外壳中3-160mm(边长或直径规格)?25.4x3.2mm,兼容 1英寸光学元件安装架3-160mm (边长或直径规格)
    阶数m1-128可选1-128可选

    入射光斑质量要求TEM00TEM00TEM00,M2 <1.3TEM00,M2 <1.3
    入射光斑偏振态要求线偏振光/圆偏振光线偏振光/圆偏振光圆偏振光圆偏振光
    入射光斑尺寸取决于阶数m≤基片内接圆直径x90 %≤通光孔径≤通光孔径
    通光孔径?21.5 mm?20 mm≤基片内接圆直径x90%
    偏转角
    0.5°,1.0°,2.3°,4.7°0.2°-7.0°
    透过率>85%@400-450nm,>96%@450-1700nm>85%@400-450nm,>96%@450-1700nm>97%>85%@400-450nm,>96%@450-1700nm
    反射率Ravg    <0.5%(0°入射角)Ravg    <0.5%(0°入射角)Ravg    <0.5%(0°入射角)Ravg    <0.5%(0°入射角)
    转换效率>99.5%>97%,最大可做到 >99.5%

    零级占比

    <4%<4%
    • 偏转角:准直光束入射后获得的出射光束会聚或发散角的半角

    • 转换效率:拉盖尔-高斯能量漫衍中1阶能量占所有出射光能量之比

    • 零级占比:长焦深整形获得的零级光斑能量占所有出射光能量之比

    性能曲线

    环形整形DOE

    透久魅阵列匀化器

    透久魅阵列匀化器能够实现多模激光差异形状的非准直匀化效果。可用于医疗美容偏向的光束匀化、机械视觉偏向的配景光匀化等chang景。

    不朽qing缘mg的透久魅阵列匀化器包罗平板微透久魅阵列清静板柱透久魅阵列,其中平板微透久魅阵列是一种基于液晶聚合物的衍射光学原理实现激光匀束、光束整形的平板光学元件,由聚合物薄膜和单片N-BK7窗口片组成,使用液晶聚合物薄膜上的阵列式相位漫衍实现微透久魅阵列功效。其出射光束形态与微透镜单元的各项参数相关,通过调整微透镜单元的相位周期及轮廓,能够无邪控制出射光束的发散角巨细和光斑形状,实现多种差异形状糰n笮〉募す庠仁凸馐涡枨。gai器件与入射光偏振态相关,控制入射光为右旋或左旋圆偏振光,可使光束经由单元透镜后发生发散或会聚,基于衍射原理,单元透镜发散或会聚角遵照sinθ=λ/p,λ为设计波长,p为单透镜径向相位周期。同时,微透久魅阵列为单波长设计,无球差,入射面镀有zeng透膜,具有较高的透过率和衍射效率,在波莂n、光聚能、光整形等多种系统中可获得普遍应用,在光信息处置赏罚、光互连、光盘算、图像扫描仪、光chang相机、医疗器械、3D成像和显示等领域中,有重大生长潜力。平板柱透久魅阵列是一种基于液晶聚合物的衍射光学原理实现光束一维整形和匀化的平板光学元件,由聚合物薄膜和双片N-BK7窗口片组成,聚合物薄膜上的一维阵列式相位漫衍实现柱透久魅阵列功效。其对光束的调制作用与入射光束偏振特征和柱透镜单元参数相关:通过将入射光束调治为左旋圆偏振光(右旋圆偏振光),可以获得先会聚后发散的右旋圆偏振出射光束(发散的左旋圆偏振出射光束),且发散或会聚角遵照sinθ=λ/p,其中,λ为设计波长,p为单元柱透镜相位周期,通过调治柱透镜单元的相位周期,能够无邪控制出射光束的发散角大。迪植钜旃娓竦墓馐晃魏驮然枨。同时,平板柱透久魅阵列为单波长设计,无球差,入射面镀有zeng透膜,具有较高的透过率和衍射效率。以上特征使得平板柱透久魅阵列在成像、机械视觉、半导体激光器准直等科研领域的应用中有着较大的潜力。

    不朽qing缘mg提供尺寸?25.4  mm,微透镜单元焦距为5 mm、50 mm,出射光束形譪i叫,事情波长为532 nm、633 nm、850 nm、915 nm、976 nm的尺度微透久魅阵列,除此之外,还提供多规格定制服务,包罗特殊尺寸、事情波长、射束发散角、射束轮廓等指标。

    偏鲜明微镜下平板微透久魅阵列和的平板柱透久魅阵列结构图

    透久魅阵列匀化器(左),偏鲜明微镜下平板微透久魅阵列结构图(中),偏鲜明微镜下的平板柱透久魅阵列结构图(右)

    产物特点

    • 平板结构,体积。准

    • 透射型匀化,能量使用率高

    • 一连型相位,高占空比,衍射效率高,匀化效果好

    • 定制无邪,匀化形状可。⑸⒔强傻

    • 更适合多模激光非准直匀化

    尺度产物型号

    产物型号匀化光斑形状事情波长/nm焦距/mm透镜单元尺寸通光孔径/mm
    SLB-PBMLA25S-532-F5方形5325300μmx300 μm?21.5
    SLB-PBMLA25S-532-F50方形53250300μmx300μm?21.5
    SLB-PBMLA25S-633-F5方形6335300μmx300μm?21.5
    SLB-PBMLA25S-633-F50方形63350300μmx300μm?21.5
    SLB-PBMLA25S-850-F5方形8505300μmx300μm?21.5
    SLB-PBMLA25S-850-F50方形85050300μmx300μm?21.5
    SLB-PBMLA25S-915-F5方形91551000μmx1000μm?21.5
    SLB-PBMLA25S-976-F5方形97651000μmx1000μm?21.5
    SLB-PBCLA25-520-8线形52080.5mmx25.4mm?21.5
    SLB-PBCLA25-650-8线形65080.5mmx25.4mm?21.5
    SLB-PBCLA25-915-5线形91551mmx25.4mm?21.5
    SLB-PBCLA25-940-8线形94080.5mmx25.4mm?21.5
    SLB-PBCLA25-976-5线形97651mmx25.4mm?21.5

    性能参数

    产物类型标品-微透久魅阵列定制-微透久魅阵列标品-柱透久魅阵列定制-柱透久魅阵列
    事情波长532,633,850,915,976nm400-1700nm520,650,915,940,976nm400-1700nm
    元件尺寸及安装方式(边长或直径规格)?25.4x1.6 mm,兼容 1英寸光学元件安装架3-160 mm(边长或直径规格)?25.4x3.2 mm,兼容 1英寸光学元件安装架3-160mm(边长或直径规格)
    通光孔径?21.5 mm≤基片内接圆直径x90%?21.5 mm≤基片内接圆直径x90%
    入射光斑质量要求多模
    入射光斑偏振态要求
    入射光斑尺寸请咨询不朽qing缘mg
    焦距5mm,50mm请咨询不朽qing缘mg5mm,50mm请咨询不朽qing缘mg
    出射光斑形状方形方形、三角形、正六边形等恣意形状,可实现致密 拼接的形状最佳线形线形
    出射光斑不匀称性<10%
    透过率>85%@400-450    nm,>96%@450-1700 nm
    反射率Ravg    <0.5%(0°入射角)
    衍射效率>98%
    • 出射光斑不匀称性:光斑归一化能量漫衍90%以上区域的能量均方根误差

    • 衍射效率:光斑归一化能量漫衍90%以上区域的能量占所有出射光能量之比

    性能曲线

    透久魅阵列匀化器性能曲线

    SLB系列折射光学模组

    贝塞尔加领班

    贝塞尔加领班是一种用于激光加工系统终端的光学模组,由折射和衍射型光学元件配合集成于金属机械套筒中组成,通过锥透镜的光chang调控作用和双远心光学系统的光束整形作用,能够天生知足激光加工要求的贝塞尔光束。贝塞尔加领班适用于单模激光;其光学元件部门接纳磷七透过率基材,具有较高的能量使用率;紧凑的?榛峁挂子诩,对种种激光加工系统有着较好的适配度;通过奇异的光学设计,可实现很是小的像差;出射光斑中心主瓣尺寸<?2μm,可实现0.2mm-12 mm深度规模(包罗定制)内小崩边、小热影响区域、无锥度的切割效果。现在设计有事情波长为1064nm,空气焦深0.5、1、2、4、6、8mm的贝塞尔加领班标品,同时支持参数规格的无邪定制,以利便用户在差异应用chang景下的多样化需求。

    贝塞尔加领班

    产物特点

    • 接纳高透光学基材,整体透过率高

    • 奇异光学设计,小像差,光斑尺寸<2 μm

    • 切割深度0.2-12 mm,适合差异厚度的质料

    • 模块紧凑,适配性高,易于集成

    • 切割崩边。拮抖,热影响区域小

    尺度产物型号

    产物型号设计波长/nm入射孔径/mm空气焦深/mm光斑尺寸/μm
    SLB-BPH-1064-6-051064?60.5?0.74
    SLB-BPH-1064-6-11064?61.0?1.28
    SLB-BPH-1064-6-21064?62.0?1.2
    SLB-BPH-1064-8-41064?84.0?1.47
    SLB-BPH-1064-10-61064?106.0?1.54
    SLB-BPH-1064-10-81064?108.0?1.67

    贝塞尔加领班

    F-Thetachang镜

    F-Thetachang镜是一种平chang扫描透镜,接纳高透过率的光学玻璃作为基材,由透镜组以特定的设计方案集成于机械外壳中组成。其聚焦光束的高度为f×θ(θ为入射光束的入射角),因此输入光束和输出光束的角速率直接成正比,使扫描反射镜能够以恒定的角速率运转,常用于提高边缘光束入射到探测器的能力、使探测器光敏面上的非匀称光得以匀称化、赔偿系统的chang曲与畸变等。F-Thetachang镜在使用时能够提供平chang像平面,同时能极大简化控制电路,具有高透过率、大扫描规模、低像差和低F-Theta畸变的特点,在中低激光功率的微加工方面,如标刻机、镌刻机、激光打印机、传真机、印刷机以及制作半导体集成电路的激光图形发生器和激光扫描细密装备中,有较大生长潜力。

    F-Thetachang镜,平chang扫描透镜

    产物特点

    • 适用于高精度质料加工和扫描应用

    • 平chang像平面,大扫描规模

    • 空气隙设计,低像差设计

    • 低F-Theta畸变

    尺度产物型号

    产物型号设计波长/nm入射孔径/mm焦距/mm扫描chang/mm材质
    SLB-FT-532-16-330-347532?16330245X245光学玻璃
    SLB-FT-1064-15-347-3551064?15347253.4X253.4光学玻璃
    SLB-HPFT-532-14-330-230532?14330110x110光学玻璃
    SLB-FT-1064-12-160-1601064?12160160x160熔融石英

    F-Thetachang镜聚焦光斑尺寸漫衍图和chang曲漫衍图

    以SLB-FT-532-16-330-347为例,聚焦光斑尺寸漫衍图(左)和chang曲漫衍图(右)

    微纳光学元件定制

    微纳光学元件又称衍射光学元件,指的是一种在平整基底外貌上通过种种方式做制备出微米、纳米级尺度二维结构的光学元件。微纳光学元件以最高的效率将入射光束转变为恣意光斑形状。an功效差异,微纳光学元件基本可以分为三类:光束整形器件、分束器、匀光器。  激光直写手艺是制作微纳光学元件的主要手艺之一。通过调制pu光光束功率密度、光束尺寸巨细以及偏振态可以实现种种结构。基于液晶微纳产物制作工艺,现在不朽qing缘mg可以制备事情波长在400-2000nm规模内的种种液晶微纳光学元件。基于结构的差异,最小特征尺寸可到达5-0.2μm,且相位结构可以无邪处置赏罚,基本可以制备恣意一维、二维相位结构,器件外观尺寸上也支持多种厚度及口径。

    微纳光学元件定制

    SGD系列微纳光学元件

    微透镜列阵

    微透镜列阵元件是由通光孔径为微米级及浮雕深度为微纳米级的透镜组成的列阵,可实现聚焦成像、准直等功效,具有单元尺寸小、集成度高等优点。主要用于 Shack-Hartmann 波莂n、红外焦平面探测、CCD 列阵光聚能、LD 整形、激光列阵扫描、激鲜明示、光纤耦合、光chang相机、3D 显示、数字无掩膜光刻(DMD) 等系统。

    微透镜列阵

    二元微透镜列阵

    二元微透镜列阵指的是使用台阶状的面形结构来趋近于一连浮雕结构的微透镜列阵。gai元件使用二元掩模通过多ci套刻完成多个台阶结构的制备,可制备结构指标参数如下:

    • 波段规模:0.248μm ~10μm;

    • 子口径形状:圆形、矩形、正六边形、环形等

    • 子透镜口径:0.01mm~4mm

    • 透镜质料:石英、硅、锗、硒化锌等

    • 典型台阶数:2、4、8、16

    • 衍射效率:75%~95%

    二元微透镜列阵

    波长(μm)子口径(μm)子口径形状焦距(mm)列阵数基片尺寸(mm)
    1.064275×275四边形830×30φ14×3
    1.0641000×1000四边形3016×16φ30×5
    0.551680(平行秠uan撸六边形29.737×37φ14×3
    0.51680(平行秠uan撸六边形69.87×9φ20×3
    1.0641750×1750正方形906×6φ20×3

    一连面形微透镜列阵

    不朽qing缘mg接纳奇异的成形及面形控制手艺,实现无衍射色差,适用于宽波段系统成像和聚焦的高精度一连外貌微透镜列阵。

    • 数值孔径:0.01~0.5

    • 透镜面形:球面、抛物面、双曲面等

    • 面形误差:<3%

    • 子透镜口径:5μm~4mm

    • 填充因子:> 98%

    • 子孔径形状:四边形、六边形、圆形、矩形等

    • 透镜质料:石英、硅、锗、硒化锌、K9、氟化钙、PMMA、PC等

    柱透镜列阵

    可以研制恣意面形漫衍(如非球面)的微柱透镜列阵,结构周期20μm~5mm,应用于光聚焦、整形等领域。下图所示为不朽qing缘mg研制的特殊面形的柱镜结构,面形准确控制在50nm,外貌粗拙度小于10nm。

    柱透镜列阵

    四边形微透镜列阵

    四边形微透镜是指口径形譪i谋咝位蛘遖n照四边形排布的透镜。不朽qing缘mg可以定制口径规模在5μm~5mm之间的四边形微透镜列阵。

    四边形微透镜列阵

    子口径(μm)子口径形状列阵数可订制焦距规模(mm)基片尺寸(mm)






    20×20正方形2000×20000.1-1可订制
    100×100正方形400×4000.6-20可订制
    150×150正方形300×3001-60可订制
    180×180正方形64×641.8-90φ20×3
    200×200正方形42×422-100φ14×3
    300×300正方形150×1505-240可订制
    400×400正方形21×219-440φ14×3
    500×500正方形80×8014-680可订制
    545×545正方形26×2617-810φ25×3
    600×600正方形34×3420-980φ30×5
    680×680正方形24×2425-1260φ25×3
    700×700正方形65×6527-1340可订制
    720×720正方形30×3028.5-1400φ45×5
    800×800正方形10×1035-1750φ20×3
    850×850正方形18×1840-1970φ20×3
    1000×1000正方形25×2555-2730φ40×5
    1200×1200正方形9×980-3940φ20×3
    1380×1380正方形30×30105-5200φ60×6
    1440×1440正方形26×26115-5670φ60×6
    3300×3300正方形5×5600-29780φ25×3

    六边形微透镜列阵

    六边形微透镜列阵指的是口径形譪i咝位蛘遖n照六边形排布的微透镜列阵。可定制口径巨细在50um~5mm(透镜中心间距)之间的六边形微透镜列阵。

    六边形微透镜列阵

    子口径(μm)子口径形状列阵数可订制焦距规模(mm)基片尺寸(mm)






    207(平行秠uan撸六边形13×131.2-88φ14×3
    259(平行秠uan撸六边形772.5-183φ14×3
    300(中心间距)圆形(六边形排布)≥100×1003.2-246可订制
    336(平行秠uan撸六边形17×174-308φ14×3
    480(平行秠uan撸六边形17×198.4-630φ14×3
    1120(平行秠uan撸六边形13×1346-3430φ25×3
    1360(平行秠uan撸六边形18768-5000φ25×3

    恣意排布恣意面形微透镜列阵

    可以an照客户的特殊需求订制恣意面形恣意排布的微透镜列阵。以下为本单元所制备的离轴型微透镜列阵的形貌图以及焦斑图。

    恣意排布恣意面形微透镜列阵

    微透镜列阵典型应用

    哈特曼波莂n衅

    微透镜列阵是夏克-哈特曼波莂n衅鞑ㄇ爸Ы獾慕沟闫骷,通过盘算其焦斑位置的偏移来丈量波前。gai波莂n邢低晨捎τ糜诎氲继逯圃、航空航天、眼科医学等研究及工业加工领域的高精度、无损、在线波前检。

    哈特曼波莂n衅

    焦平面聚能器件

    由于传感器本shen的结构特点,感光元与感光元之间存在间隙,这些间隙的存在造成光入射能量的极大损失,使用微透镜列阵将原本入射到这些间隙上的光会聚到感光元上,可以极大的提高传感器的光能使用率。

    焦平面聚能器件

    光chang相机

    使用微透镜列阵与chang镜之间的相互匹配,获取大数据量富厚的图像数据,使用后续算法可实现多景深图像信息再现,进而可实现一连空间的数据获取。

    光chang相机

    三维显示

    使用微透镜列阵与微结构图形之间的相互作用,可实现三维立体影像的获取和重现,进而生长可应用于包装、防伪、3D印刷、立体广告牌、三维影视、立体画等手艺领域。

    三维显示

    相位板器件

    研制种种基于微光学手艺的波前调制器件,包罗台阶型和一连外貌型,具有准确、系统紧凑、利便调治等优点。拥有多种自主开发的设计软件及数据处置赏罚?,主要包罗波前转换要领,刷新遗传算法及模拟退火的全局优化手艺等。器件主要用于像差校正,相位模拟、非球面检测(CGH),光束控制、景深及视chang调制等领域。可制备元件尺寸可达100mm,应用规模涵盖紫外到红外波段。

    相位板器件

    螺旋相位板

    一连面形螺旋相位板相对于传统的台阶状元件极大提高了光的使用率,其典型应用为将入射平行光转换为带角动量的涡旋光,用于光摄、光子捕捉。本研究小组可以举行种种拓扑电荷数的螺旋相位板的制备,如下图所示。

    一连面形螺旋相位板

    随机相位板

    随机相位板可对系统位相举行准确模拟、校正或调制。可发生单阶、多阶像差位相器件,用于种种光学系统静态像差校正;也可发生具有特定功率谱的动态随机波像差等。典型应用为用于矫正人眼高阶像差模拟器、大气湍流位相调制效应像差赔偿元件及非球面检测用CGH位相板。

    随机相位板

    复合型相位板

    可以研制兼具一连面形和二元结构的复合型相位板,使其能够对光举行特殊调制,从而发生特定的光学效果。

    复合型相位板

    衍射器件(DOE)

    衍射光学器件在激光加工、激光光束整形、激光医疗、移动智能装备、人机自然交互体感、手姿控制系统等领域应用普遍,可实现高衍射效率、高匀称性光束变换、整形、分光及位相调制等。深入研究基于标量衍射理论的G-S算法、直接二元搜索法(DBS)、模拟退火算法(SA)、遗传算法(GA)、能量守恒算法及基于矢量衍射理论的积分法、微分法、模态法、耦合波法,开发出多款专业光学设计软件,可提供全局最优设计方案。深入开展高深宽比纳米结构的制备研究,乐成实现大角度(70度)、重大图形的设计、加工、制备。

    主要手艺参数

    • 器件口径:<100mm

    • 器件质料:熔融石英、BK7、硅、锗、硒化锌、K9、氟化钙、蓝宝石等

    • 特征尺寸:百纳米~微米

    • 量化台阶:多阶

    • 衍射效率高。

    分束器件

    将入射光an照设计要求分成所需的一维或二维多束出射光,如2×2、4×4、7×7、 9×9、15×15、65×65等。使用波长涵盖565nm、694nm、850nm、1064nm、2940nm、10.6um等。分束器点阵间能量一致性高、中央主极大可有用控制,也可凭证设计需求到达特定能量比漫衍。可普遍应用于激光医疗、激光加工等领域。

    分束器件

    一维分束器型号(波长-分束数-角度)二维分束器型号(波长-分束数-角度)



    450-1×3-2.3405-3?3-0.229
    450-1×3-9450-11?11-53
    450-1×3-15525-5×5-7.5
    450-1×5-10.5532-4?4-3.51
    450-1×5-14532-5×5-60
    450-1×7-20532-7×7-6.8
    450-1×9-25532-7×7-11
    450-1×11-12532-8×8-3.51
    450-1×11-30532-9×9-50
    450-1×11-35532-11×11-50
    450-1×13-34532-11×11-64
    450-1×13-38532-17×17-60
    450-1×15-36532-19-11
    450-1×17-25.4532-61-11
    450-1×17-30565-2×2-5.4
    450-1×17-40650-15×15-8
    450-1×21-35650-17×17-60
    450-1×25-18650-21×21-30
    450-1×25-35694-15×15-7.5
    450-1×49-23850-65×65-10
    450-1×99-45780-2?2-2
    450-1×101-15800-3×5-1.5×3
    638-1×11-30830-5×5-0.28
    650-1×3-1.27850-65×65-10
    650-1×3-9850-151×47-70×49
    650-1×3-15980-9×9-11
    650-1×5-191064-3×5-8×16
    650-1×7-231064-5×5-11
    650-1×7-281064-7×7-5.7
    650-1×7-501064-7×7-11
    650-1×9-301064-8×8-3.51
    650-1×9-371064-8×8-7
    650-1×11-301064-8×8-11
    650-1×13-381064-9×9-5.6
    650-1×15-361064-9×9-8
    650-1×17-401064-9×9-11
    650-1×25-361064-32×32-1.59
    780-1×11-321064-7-11
    780-1×49-301064-19-11
    800-1×7-31064-37-11
    850-1×7-181064-61-11
    850-1×11-301064-61-16
    905-1×5-121535-61-5
    905-1×32-251550-16?2-32?2
    1064-1×3-0.322940-9×9-11
    1064-1×4-0.439600-9×9-11
    1064-1×4-5.3910600-5×5-5.7
    1064-1×4-10.810600-7×7-11
    1064-1×14-4110600-9×9-11
    1064-1?23-3.23
    1550-1×4-1.5
    1550-1×4-2.85
    1550-1×19-18
    1550-1×32-2.5
    1550-1×32-5
    1550-1×32-40
    1550-1×33-3.2
    1550-1×33-16
    1550-1×41-40
    1550-1×65-32
    10600-1×10-10.2

    工具类结构光

    单线、多线、网格、随机散斑结构光(SL)

    型号(类型-波长-角度)图例型号(类型-波长-角度)图例
    SL- L1-650-43一线结构光SL-A-635-47×4.6结构光
    SL- L1-650- 60SL-G-532-8×8-8网格结构光
    SL-L1-650 -90SL-G-532-8×8-36
    SL-L1-905-60SL-G-450 -10×10-53
    SL-L1-905-100SL-G-650 -10×10-2.9
    SL-L3-650 -67×17七线结构光
     多线结构光
    DWX-650-10结构光
    SL-L7-650-23×50DWX-650-15
    SL-L7-808-33SL-830-NJ-63×51随机散斑结构光
    SL-L11-650-30SL-532-962-30
    SL-L41-650-55×43SL-532-35000-30×40
    SL-L25-808-33SL-830-35000-63×51
    SL-C-532-15十字结构光SL-830-53×0.36
    SL-C-532-60SL-830-4800-40
    SL-C-650-60SL-830-900-38
    SL-LK-532-75带刻度十字结构光SL-940-4800-42
    SL-CK-525-75SL-940-962-60
    SL-CK-650-75

    定位及人机交互结构

    人机行为交互是指盘算机通过定位和识别人类,跟踪人类肢体运动,表qing特征,从而明确人类的行动和行为,并做出响应的智能反馈历程的一种全新的、协调、普适的交互要领。由于衍射件可以把激光变换成险些恣意重大的结构光(Structured light),包罗散斑、条纹等,在体感、手姿控制等系统中获得普遍应用。另外,DOE在深度相机、3D丈量等领域应用远景普遍。

    型号(类型-波长-角度)图案型号图案
    DWK-520-21结构光PT-JP-F结构光
    DWK-520-50.8?39结构光PT-JP-I结构光
    DWK-520-60?45
    DWK-650-30×21结构光PT-JP-I结构光
    DWK-650-40×31结构光PT-JP-SB结构光
    DWK-650-42×24结构光PT-TY-WY结构光
    DWK-650-45×45结构光PT-TY-DT结构光
    DWK-635-47×35结构光PT-G结构光
    DWK-650-53×39结构光PT-Q结构光
    DWK-650-45结构光PT-结构光
    DWK-650-60×45
    DWK-650-70×50

    2014年12月26日,不朽qing缘mg乐成研制出零级知足人眼清静尺度的830nm随机点阵发生器。可普遍应用于运动物体追踪,手势识别,三维传感与丈量等领域。下图为微光学组实拍的830nm下随机点阵图,中心零级功率低于0.04mw。

    830nm随机点阵发生器

    激光虚拟jian盘

    激光虚拟jian盘通过衍射光学元件在指定平面发生虚拟的jian盘图像,再通过红外传感器感知使用者的手指位置,从而到达输入目的。现在激光虚拟jian盘已应用于手机、平板电脑、便携式充电装备等。研制的虚拟jian盘字体清晰、匀称性好、能量使用率高。提供尺度jian盘衍射器件,接受定制差异字体、差异排布、差异语言的特种jian盘研发。

    激光虚拟jian盘

    恣意图形天生器件

    生长了基于矢量理论的设计要领,乐成实现大角度、重大图形的设计,并乐成实现多台阶衍射元件的加工和制备。可凭证用户需求,天生恣意的图形漫衍,好比种种标志、人像、枪瞄、网格等衍射元件的设计和加工以及检测。

    恣意图形天生器件

    轴向多焦点及长焦深DOE

    轴向多焦点DOE,当准直平行光入射时,可以在光轴偏向上发生多个焦点,且焦点的数目、间距和能量比可以凭证用户需求无邪地调控。长焦深DOE,对于确定的入射光尺寸和透镜的F数,可以无邪调治焦深。

    轴向多焦点及长焦深DOE

    多波长DOE

    通过衍射元件实现对混淆光的准确控制,在成像、全息、光镊、彩色成像像差校正、信息处置赏罚、信息传输、防伪、保密等领域有普遍的用途。

    多波长DOE

    整形器件

    将入射光an照设计要求分成所需的平顶光、环形光、四极照明等多种,能量比可控。可应用于激光热处置赏罚、激光热负荷实验、信号处置赏罚等。

    整形器件

    微纳米量级结构制作

    自主研发的种种图形转换软件、数据处置赏罚法式,可实现恣意图形的掩模设计。 光栅结构、分辨率板、恣意图形种种微纳米级结构的生产和复制,以及实现金属化图形的批量化制备。

    • 特征尺寸: ≥2μm

    • 基底质料:石英、硅、锗、硒化锌等

    • 金属种类:金、银、铬、铝等

    微米量级图形

    激光虚拟jian盘

    纳米量级图形

    激光虚拟jian盘

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